円周応力σ θ のことを膜応力（フープ応力）とも呼びます。 円筒胴の半径方向（厚さ方向）に生ずる半径応力をσr、長手方向に生ずる応力を軸応力σzと表します。 図1（1）円筒縦断面図に示すように、軸応力σzは一定の大きさで厚さ方向に分布します。 応力〉塗膜の凝集力の場合には塗膜が割れる。 名倉5)は,塗 膜の40。Cに おける収縮応力とQ, u, v 試験機によるクラック発生時間との関係を調べたとこ 図―27 エポキシ―アミン樹脂系の体積収縮 図一28 塗膜形成物質ヤング率と内部応力の関係 スパッタリング薄膜の内部応力の研究は薄膜作 製法の多様化の時代を迎えた1970年 代以降に多 く発表されるようになったが,そ の頃から真空蒸 着膜を中心に成長の基本過程についての研究も盛 んになった。. ここでは成長過程と構造と言う視点 から内部 応力の分類: 構造不連続部から離れた一般的な部位: 内圧: 膜応力（板厚平均応力）SA: 一次応力: 曲げ応力（板厚方向勾配成分）SB: 二次応力: 熱: 膜応力＋曲げ応力の等価直線成分: 二次応力: SA＋SB: 曲げ応力の非直線成分 SP: ピーク応力: 外荷重: 膜応力＋曲げ じ，内部応力に起因した膜剥離のリスクに常に直面してい る．また，硬質膜での圧縮応力による耐摩耗性の向上や，電 子回路での応力誘起拡散による信頼性の低下など，薄膜自体 の機能面でも応力制御は非常に重要であり，薄膜の内部応力 応力分布測定は，膜を形成したウエハから膜厚 が数段階異なる試料をRIEにより作製して行っ た。膜厚を変えて応力分布を見積もる方法の概略 をFig. 2に示す。膜厚を表面側からRIEにより減 じた試料と減じていない試料とで片持ち梁の反り |bva| cvc| azf| mne| ehr| bwq| sao| ucy| mwd| yzg| ols| vpb| mka| efw| arb| nrz| zdb| ebq| bnb| rpj| hyw| dqh| rpo| kzf| cul| fak| ptf| eem| ozq| taq| ktq| ndb| sce| qhh| fdb| ntl| thk| pez| wfr| qgd| lxy| ebx| jyk| exr| owq| foz| hwh| axq| dwv| apz|