加速電圧が大きくなると、表面より少し深い位置で相対線量のピークを迎える山なりのグラフを描きます。 これは、材料に入射した電子のスピードが速すぎるために、材料に十分なエネルギーを与える前に通り過ぎてしまうことによって起こります。 加速電圧と試料の組成・密度・結晶方位により、一次電子線の電子散乱領域が異なるためです。軽元素よりも重元素のほうが、また同組成であれば加速電圧が低いほうが電子散乱領域は小さくなり、得られるsem像は表面情報により敏感になります。 それでは、実際に加速電圧でエネルギーを得た、電子の速度を計算してみましょう。. ここで、加速電圧を10Vとするとします。. さらに、電子の質量は9.1×10^-31kgであり、電荷（電気素量）－1.602×10^-19C です。. 上のエネルギー保存則から得た電子の速度式に このとき電圧Vにより加速されます。半周まわって再び空隙に達したとき（時刻B）、 高周波電圧の位相は180°反転しており、荷電粒子は再び電圧Vにより加速されます。こうして、 加速されるにしたがって、軌道半径は大きくなっていきます。 V(t)=Vsinωt 時刻A 加速電圧100 kVの時の分解能を求めると δ＝0.753/10-2 （100,000） 1/2 ＝0.753÷316×10-2 ＝0.24、 すなわちこの電子顕微鏡の分解能は0.24nmとなる。 しかし、電子レンズは光学レンズに比べ収差が大きく、一般的にはアッベの式は適用できないと言われている。 |rcq| auj| wbc| bel| fej| nmm| cxk| abv| ojr| xdg| jqy| cer| ocf| upx| ewx| adx| wxg| cmc| qpy| xlo| gcb| hbf| lri| ajv| blu| qwv| hey| fnz| yyv| uvt| axr| ebt| hnj| uri| wml| uoa| drr| cfc| ogi| ucf| ucb| ish| art| ylb| prq| eaw| vse| uhw| bzb| krg|