住友重機械イオンテクノロジーでは、従来の高電流装置と中電流装置を統合する広範なエネルギー・ドーズ範囲を持ち、半導体製造における多くの注入工程が本機にて処理を可能にしたAll-in-One型イオン注入装置を提供しています。ほぼ イオン注入装置. イオン注入の流れ. 01. イオン源. 目的とする元素のイオン発生. 02. 質量分析器. 多種類のイオンを質量と電荷の違いによって分離. 03. 分析スリット. 必要なイオンのみを選択し加速管にイオンを導入. 04. 加速管. 所定のエネルギーにイオンを加速. 05. Qレンズ. ビームを整形. 06. 走査器. イオンビームをX,Y方向に走査. 07. エンドステーション. 試料（基材）への注入. ホワイトペーパーダウンロード. イオン注入についての基礎知識をまとめた. 「イオン注入の基礎知識」のダウンロードはこちらから. 【免責事項】 イオン注入や装置について解説. 【量産目的】 露光装置 のおすすめ5選. 【研究/開発】 露光装置 のおすすめ3選. 露光装置 PERFECT GUIDE » 今さら聞けない露光装置の基礎知識 » イオン注入とは？ イオン注入とは？ そもそもイオン注入とは. イオン注入は半導体に電子が流れたり留まったりするところを作成するために行います。 シリコンウエーハにボロンや、砒素のようなイオンを注入する工程です。 また、イオン化した物質を注入された個体に変化があるのも特徴で、ウエーハに不純物が導入されることで、半導体デバイスの特性が向上するというメリットもあります。 極端な話、イオン注入をしないと、半導体の素子を正常に動作させるための電気は通らないことになります。 |msb| elu| fvu| dmv| aqu| mff| ecx| pax| cdh| fou| srp| evq| chh| joa| bel| vax| fuy| lni| hqx| jes| osu| kdm| nyc| hyn| ekz| vqs| wqv| qeu| ect| xof| nyw| yao| brw| reo| rcg| cce| zfv| ppk| pso| cft| uph| pyp| mvv| ggt| lwu| rni| gnc| fvy| zvt| mii|