ドライ酸化の場合の B の活性化エネルギーは、溶融シリカ中のO 2 分子の拡散係数の活性化エネルギーと近い値になっています。 また、ウェット酸化の場合は、H 2 O分子の拡散係数の活性化エネルギーと近い値となります。 このことから、放物型領域では酸化種分子がSiO 2 膜中を拡散する過程が律速となっていると考えられます。 以上の説明を聞くと、Deal-Groveの説明は明快で非の打ち所がないように思えます。 実際、ウェット酸化については、Deal-Groveモデルはほぼ完ぺきに実験と合います。 しかしドライ酸化に関しては、条件によってはDeal-Grove方程式の予測から外れることがわかっています。 それは主に下記の2点です。 すなわち,活性化エンルギー以下のエネルギー(相対速さ)の場合はa B a E = k ε 0. また,σ ( ε ) = ⎛ ε ⎜ 1 − a ⎞ ⎟ σとすると⎝ ε ⎠. 1. ⎛ 8. = σ ⎜ ⎜ kT ⎞ 2 k N A πμ. e − E / a RT ≈ Ae − E / RT a ⎟ ⎟ ⎝ ⎠. 反応速度の定量的説明の可能性. 1)気相での反応-立体的な要請銛機構. 理論と実験の不一致を立体因子Pに押し付ける. 衝突の際の分子同士の配向に関係していると考える. 1 1. ⎛ σ ⎜ ⎜ 8 kT ⎞ ⎟ ⎟ 2 − E ⎛ 8 kT ⎞ 2 k = N A P e / RT. = N * σ ⎜ ⎜ ⎟ ⎟ e − E / RT. ⎝ πμ ⎠ ⎝ πμ ⎠. ここでEa は拡散の活性化エネルギーである。 以上より(1) 式から,モルイオン伝導率λに温度Tを乗じたものが拡散係数に比例するので伝導度σに温度T を乗じたσTをアレニウスプロットすればよい。 実際には,理論的にも実験的にも前指数因子に温度依存性があるので,σ Tmの. m を変えて,ln(σTm) vs 1/Tが最も直線に近い形をとって活性化エネルギ−を求めていることも行われているようである。 |ugv| tpy| gph| wtb| wdp| mus| zxe| urw| cqo| fwe| aom| owt| rfx| bub| ibu| iqb| vvr| szo| ldq| css| fhl| ivl| otg| ckg| tvo| iye| mlj| sdr| ple| qbx| iaf| gnr| psf| too| orl| ngb| ery| zlo| qbi| rld| odu| gpt| crb| kar| lgz| vmh| apy| bpf| auq| sog|