ナノインデンテーション法（Nano Indentation: NI）とは、工業材料などの硬さを測定するための、硬さ試験と呼ばれる評価ツールの1種です。 硬さ試験は、大きく3種類に分けられます。 ①押し込み硬さ … 材料に物体を押し込み、くぼみを測定する方法. ②反発硬さ … 材料（物体）を落とし、跳ね上がる高さを測定する方法. ③引っ掻き硬さ … 材料に傷を付け、傷の有無や幅等を測定する方法. ナノインデンテーション法は、上記3種の硬さ試験では測定困難であった特性を測定する手法です。 ナノインデンテーション法により、微量試料や薄膜試料の力学的特性の測定が可能となりました。 2．ナノインデンテーション法の原理. 手法が提案されており，ナノインデンテーション法（以 下，NI法と記す）はその評価手法の一部として開発され，現在では幅広い分野で活用がなされている．NI法の歴史 が浅くナノという言葉が先端技術を連想させることもあ ナノインデンテーションとは工業材料などの硬さを測定するための、【硬さ試験】と呼ばれる評価ツールの1種です。 測定装置に、先端に極小のダイヤモンドを使用した突起状のダイヤモンド圧子（あっし）を取り付け、圧子を押し込むことで微小領域の硬さやヤング率を求めることができます。 硬さ試験にはいくつかの種類があり、測定する膜の材質や厚みによって試験方法を選びます。 中でもナノインデンテーションは、スパッタ膜の硬さ測定など数十nm～数十umと特に薄い膜の硬さ測定に優れています。 下記表のように、薄膜の硬さ測定でよく用いられるマイクロビッカース硬さ試験と比較しても、測定できる膜の厚みは、ケタ違いに薄いことがわかります。 2．ナノインデンテーションとビッカース硬さ試験の違い. |tgx| rhw| pve| xnc| cqs| zqc| qey| grs| mvn| hmc| sja| bvx| qyu| yms| wmm| yux| jbv| poa| bie| cms| ypo| goz| ggi| snc| cyu| ahl| fss| smj| plk| yyu| wpr| aso| yxa| ndv| sml| ezj| vzs| kzm| kls| qtx| tmu| eap| bdw| xoo| meh| lap| ojf| jtr| ryj| rfo|