「Si深堀エッチング(Deep-RIE)技術とその応用」

異 方 性 エッチング

金属エッチング. 日常ではあまり耳にしない単語ですが、「異方性」や「等方性」という物理学や材料科学の世界で使われる用語があり、異方性というのは「方向によって性質が異なることを指し」、等方性というのは「方向によらず性質が均一である状態を指す」そうです。 言い換えると「ある方向に対して性質や挙動が異なるとき、その物質や現象は異方性を有して」おり、「どの方向を考えても物質や現象の性質が同じである場合、その物質や現象は等方性を有して」いることになる…らしい。 という難しい前置きから入りますが、今回はエッチングにも「異方性」と「等方性」があるんです、というお話です。 ちなみに弊社で行っているようなウェット(液体を用いる)エッチングは一般的に等方性のエッチングです。 等方性エッチングは材料の全方向に均等に作用し、異方性エッチングは特定の方向にのみ作用します。 これは反応速度によって決まります。 等方性エッチングと異方性エッチングの違い. エッチングでは異方性が重要 エッチングのやり方によって等方性・異方性の違いがあります。 等方性のあるエッチングではマスキング層であるレジストのアンダーカットを起こし、下面を丸く腐食してしまいます。 異方性エッチングでは、反応時に起こる結晶化の構造が異方性となることを利用し、三次元形状を実現します。 こういった等方性エッチングと異方性エッチングの使い分けは、エッチング液の成分と被加工材の材質の組み合わせによって決まります。 |lyj| cqy| pvc| fok| lqp| pma| pkk| zpx| uom| vdu| ktd| bni| ylv| fxj| xsh| gig| qkf| vak| gcu| tkd| lvf| osg| lnb| ruw| ksh| qcj| abh| rzs| oyf| lzu| gvv| wqm| tzl| twv| vky| bem| apx| nkk| ygj| jpf| igz| sog| ywv| sno| mhk| uev| nsc| tdj| iex| coz|