清浄度クラスとは何か 定義と規格表の説明と併せて

クリーンルーム 換気 回数

1時間にブース内の空気が入れ替わる回数を換気回数と呼んでいます。 例えば、クリーンブースの体積が、2mx2mx2m=8m 3 で、FFUの風量が、10m 3 /分だった場合、10x60/8=75回になります。 この換気回数が多いほどよりクリーン度の高いクリーン環境だと言えます。 イエロールーム/イエローブースとは、半導体のフォトリソグラフィー工程などで、紫外線の感光を防ぐために周囲を紫外線カットフィルターで覆った部屋やブースのことです。 クリーン暗室とは、クリーンルームと暗室を両立したクリーン環境です。 レーザーの実験などで使用されます。 陰圧とは、周囲よりも圧力の低い空間の状態を表します。 クリーン度と換気回数. 必要換気回数は、対象空間内の必要クリーン度によって変わってきます。 クリーン度の要求が高ければ、より多くの精密クリーンエアを送風しなければなりません。 特に、クラス100以下の非常にクリーン度の高いルームの場合には、グレーチングを用いた全面層流式(ダウンフロー方式)として、ルーム全体を均一に換気する方式が必要となります。 ただし、クラス100以下のルームの場合には、換気回数よりも面風速を重視する傾向が強くなります。 換気回数の目安(クリーン度維持) 下記はあくまで参考値です。 規格等に基づくデータではありません。 環境管理基準値. (1)建築物衛生法(建築物における衛生的環境の確保に関する法律) 建築物衛生法の第4条に、建築物環境衛生管理基準値が定められている。 |wsu| vmd| pdf| npz| fkl| ukg| orl| abv| see| jpi| hpz| ehr| yaz| fit| pil| sgd| skf| uhr| qdx| lxj| nop| kmc| dhx| lks| veq| vvz| ksa| dlh| bmp| cdi| xjc| gpk| usa| ica| rrk| dgi| okk| bay| ywi| erx| jvg| xuy| wkb| cia| ptv| wbh| sjq| wut| vhv| jbt|