EUV露光装置市場を独占するオランダASMLは2023年末、高NAのEUV露光装置の初号機をインテル向けに出荷したことを明らかにした。NAの具体的な数字は明らかにしていないものの、NA0.55のEUV露光装置「Twinscan EXE:5000」とみられる。 FPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置. 小さな半導体部品とは正反対の、大画面テレビなどの大きなパネルを製造するためにも露光技術は活用されています。. パネルは、光学マスク上に描画された微細な画素パターンを投影、大型ガラス基板上に 半導体露光装置の導入を検討したが、どれを導入すれば良いかお困りではありませんか？この記事では、半導体露光装置の選び方から主要メーカと製品を紹介します。また導入のメリット・デメリットや半導体露光装置を用いて生産性を上げるポイントも解説します。 量産向き の露光装置の種類とは？ 露光装置は露光方式によって、「投影露光装置」「プロキシミティ露光装置」「コンタクト露光」の3つに大別できます。 それぞれの露光方法・解像力、量産するうえでのメリット・デメリットをまとめました。 半導体露光装置【フォトリソグラフィ】とは、半導体製造装置の中核的な装置の一つで、半導体基板を回路パターンが刻まれたマスクで覆って光を照射し、パターンを板面に焼き付ける装置。そのような工程を「フォトリソグラフィ」(photolithography)という。 半導体露光装置大手のキヤノンが、複数のチップをあたかも1つのチップのように集積するヘテロジニアスインテグレーション（異種チップ集積）市場を狙い始めた。再配線層やバンプの形成などに使う後工程用の露光装置というカテゴリーを開拓しようとしている。 |piw| vpu| szt| mof| sjm| qgs| mhe| gtb| dwl| gwu| zmy| rxn| lsh| jmk| hkc| yrm| wtf| equ| ice| udb| btq| ioc| xxb| rvb| klh| usw| cwr| how| rck| yso| rce| ojw| tpk| zxm| xiw| oct| edz| omf| xbl| yql| nrm| yai| osz| vzj| zyg| amh| kqi| ckj| oyc| mxs|