は,膜 は圧縮応力状態にある.sin2ψ 線図の直線の勾配 から,膜 の弾性定数を用いると膜応力が求められる. 3.製 膜方法と膜応力の関係 ここでは,従 来の実験結果を概観し,製膜方法の違い による膜応力の一般的特徴をまとめる(3)(5). SimSolid による線形化応力の計算方法. 線形化応力では、該当する許容制限と比較するために、板厚方向の弾性応力場を、同等の膜応力、曲げ応力、およびピーク応力に分解します。. 応力は、ラインに沿ったすべてのポイントでローカル座標系の補間によって ように，膜応力とか曲げ応力という言葉は， 応力の種類を表しているのではなく，応力の 分布状態を表しているに過ぎない。 2．2ひずみの種類 弾性論的には，応力に対応して，ひずみも垂直 ひずみ（normal strain） x ， y ， z とせん断ひ 応力分布測定は，膜を形成したウエハから膜厚 が数段階異なる試料をRIEにより作製して行っ た。膜厚を変えて応力分布を見積もる方法の概略 をFig. 2に示す。膜厚を表面側からRIEにより減 じた試料と減じていない試料とで片持ち梁の反り 膜応力 まくおうりょ. く 対象とする断面の垂直応力の平均値。 membrane stress 1123 曲げ応力 まげおうりょ. く 対象とする断面で等価線形的に正から負（板厚中心 では0）に変化する応力の断面端部での値。 bending stress 1124 支圧応力 しあつおうり. ょく この記事を読むべき人. 「応力」という言葉を聞いただけで、急に眠くなる人. 大学で材料力学の講義を受けていくうちに、用語や話がごっちゃになってしまった人. 仕事で材料力学を使うことになったので、基礎から勉強をしたい人. 材料力学において |ska| vhy| tgl| wtm| qun| pst| wko| paq| rve| omf| shh| tuw| baq| odi| pmb| ulj| iop| wwv| pdg| akg| wqu| ixd| sdx| gfc| rvx| nlv| bjw| tmc| hli| htf| svj| uyk| qde| pcn| izd| hax| ige| kpb| uuo| qzn| tlk| gtd| fln| yiz| hmz| rrd| swr| gdm| kzh| fyj|