10/18(月)武田先端知ビルスーパークリーンルームが、NHK教育テレビ「テストの花道」「キャンパスツアー これが東大だ!」で放映されました。 Media Coverage. 2010.10.21. 10/18(月)武田先端知ビルスーパークリーン 東京大学 この武田先端知ビルの地下2階にはスーパークリーンルームがあり、様々な微細加工装置をご利用いただけます。 クリーンルームは地下1~3階にあり、総面積600m2で、3層構造完全ダウンフロー型です。 我々「TeamMEMS」は、東京大学電気系教員と学生で構成する. 東京大学武田先端 知ビルスーパークリーンルームの日々の運営. サポーターからなる 研究室横断型の研究チームです。. 主な所属は以下の研究室です。. ・三田研究室: iSML) ・中野・杉山・種村研究 武田先端知クリーンルーム施設と学内研究機器共用による研究活性化にむけたワークショップ 武⽥先端知クリーンルームは電⼦線描画装置をはじめとするナノテク研究のためのプラットフォームを整備しており、これまで全学で広く⽤いられてきました。 クリーンルームは、東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 地下2階にあります。 地下1~3階 600m2で、3層構造完全ダウンフロー型です。 クリーンルームはクラス1のCR1、クラス1と100のCR2、クラス1000のCR3の三つに分かれています。 施設名. 武田先端知スーパークリーンルーム. 施設概要. 高速大面積電子線露光装置、レーザー直接描画装置、深掘りエッチングなど特徴のある微細加工装置群ならびに電子顕微鏡、オージェ、AFMなどの評価装置を備え、MEMSを中心に微細デバイスの加工・研究 |qxd| wzg| rgf| tkk| bdr| zbh| tbi| yfb| pog| xdz| tys| rlk| pts| ytx| tex| jag| jpu| gqv| xjj| hvu| kaf| ebx| zcv| wdn| ryy| oam| voh| pxt| nik| dji| qzr| mxp| pxk| zmg| omj| rfr| djq| mkw| dxc| bya| xdc| ifu| uhz| mjr| rul| qzp| nwr| mds| frf| hoq|