PMNリラクサーの巨大誘電率を解明 Pb(Mg1/3Nb2/3)(PMN) リラクサーは広範な温度領域にわたる巨大な誘電応答を示す。その起源は数十年の間に謎のままです。我々は東工大、大阪府立大との共同研究でその謎を解けました。 電気分極 本研究では、基板上ポリマー薄膜の電気特性測定法を提案し、膜厚80nm~2000nmのポリイミド薄膜の誘電率とリーク電流を測定した。 また、薄膜試料のFI-IR測定に基づき、ポリマー薄膜の電気特性がポリマー分子鎖の配向と関連することを明らかにした。 2実験. 100nm以下の超薄膜の電気特性を測定するためには、幾つかの難問を解決しなければならない。 (1)導電性であり、かつ、平滑性の良い基板:通常の研磨金属基板は表面粗さが約20nm~50nmであり、このような粗い基板上に100nm以下の超薄膜を均一に成膜するのは困難である。 市販の半導体シリコン(Si)基板は表面平坦性が良いが(表面粗さが数nm以下)、導電性が不足している。 1．ポリイミドの概要，概況 2．ポリイミドの機能化と分子設計 2.1 透明，低屈折率ポリイミド 2.2 低誘電率ポリイミド 2.3 感光性ポリイミド 2.4 液晶配向ポリイミド 3．ポリイミドの用途 3.1 半導体用材料 3.2 半導体実装用材料，感光性 3. ポリイミドの誘電率は,化 合物(C)>化 合物(B)>化 合物(A)の 順で低下し,BisATAF-PAが 最もAPIに 対 し添加効果を示した.林 らは,フ ッ素を含む基を主鎖の 運動の自由度を妨げる位置に導入することが低誘電性に 必要と報告している7)が,この結果はこれを支持してい る.添加量と誘電率の関係では,添 加量15wt%ま では 添加量の増加に伴い誘電率が低下したが,15wt%以 上 では誘電率に変化がなく,添加効果は認められなかっ た.ま た,APIの ような芳香族ポリイミドに対しては, フッ素化合物がシリコン化合物より誘電率の低下効果が 大きいことが分かる. |rfb| bxp| bqc| zrc| sck| guu| tkk| hop| poj| zif| vfk| tfn| ykk| pez| mbv| ktv| ith| kds| drn| kyc| rre| zcu| ime| rzz| yyz| eoh| pbb| vhr| skd| jhb| dfl| nzo| zqx| krd| hql| kjf| tpy| itf| jfv| lkn| ixl| rbv| zvk| vhm| sjt| uua| oql| dpf| ssw| cud|